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4D Technology レーザー干渉計・非接触粗さ測定機

環境の影響を受けにくい光学式測定機!

AccuFiz®

振動や空気の揺らぎの影響を受けにくい小型レーザ干渉計

<特徴>

  • 瞬時フェイスシフトとダイナミック測定機能により、生産現場やワークまでの距離が遠い測定環境において、振動や空気揺らぎ等の環境ノイズの影響を受けにくい小型レーザ干渉計。
  • 中間空間周波数帯において優れた精度を提供します。
  • 波長は632.8nm。オプションで532nm、1,053nm、さらに10.6μmの波長も選択可能です。
  • AccuFizは4インチモデルと6インチモデルが標準モデルとして用意されています。ビームエキスパンダーにより32インチまで拡張が可能です。
  • 標準装備のタッチパネル式リモートコントローラーにより、可変光源サイズ、フォーカス、パン、ズーム、測定が可能です。
  • 高傾斜のキャプチャーや非球面測定をするための高解像度6メガピクセルカメラも、オプションで用意可能です。
  • オプションのチップ/チルトマウントは、リモートコントロールアライメントが可能です。

FizCam™2000

平行平板の測定可能なレーザー干渉計

<特徴>

  • 独自の高速光学位相センサー技術により振動や空気揺らぎ等の環境ノイズの影響を受けにくいダイナミック測定を実現しました
  • 高速光学位相センサー技術は、30μmsecの高速データ取込みを可能にし、移動物体や除振装置なしでの測定が可能です。
  • 1,000×1,000ピクセルカメラ、5倍ズーム機能を標準で搭載し、ハンドコントローラーによる遠隔操作が可能です。

PhaseCam®

大型凹面光学ミラー及びレンズ測定に最適なトワイマングリーン式レーザー干渉計

<特徴>

  • メータークラスの大型凹面光学ミラーやレンズ測定用として業界標準測定機です。
  • 独自の光学位相センサー技術搭載したトワイマングリーン式レーザー干渉計です。30μmsecの高速データ取込みで、振動や空気揺らぎ等の環境ノイズの影響を受けにくく、特別な防振装置や空気流の制御を必要としません。
  • 高速・光学位相センサーを波面測定のために搭載し、測定データを30μsec以下で取得します。
  • 1,000×1,000ピクセルカメラを標準で搭載しています。
  • 可動部品、回転ディスク、形状可変ミラー、スキャニングミラー等の測定が可能です。
  • 光学部品製造現場、クリーニングルームまたはクリーンベンチでの測定も可能です。
  • 安定化ヘリウムネオンレーザー(@632.8nm)を使用。
  • キャビティ長さは100m以上。

NanoCam Sq

高速光学位相センサーを搭載した振動の影響を受けにくいポータブル非接触表面粗さ測定機

<特徴>

  • 高速光学位相センサーの採用により、100μsecの高速データ取込みで、振動の影響を受けにくいダイナミック測定が可能で、機上測定やロボットに移動による測定が可能となります。
  • ポータブルタイプで即手場所に限定せれず、小型光学部品だけでなく、測定室に持ち込むことのできない大口径光学部品の測定も加工現場で可能です。
  • 「4Sight解析ソフトウエア」により、データの取込み、解析を行い、「ISO 25178」規格で粗さパラメータ、PV、Raを表示します。包括的なデータシェアリング機能により、Zygo、ADE及びBruker Vision等と互換性があります。
 

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