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IBS 非接触粗さ測定機・超精密3次元測定機

これまで測定が難しかった「円筒内面の表面粗さ」の測定が可能!

ARINNA

波長スキャニング干渉計・振動補正機構搭載
小型非接触表面粗さ測定機

<特徴>

  • 小型の非接触式表面粗さ測定機。
  • 本体サイズは幅約120mm、奥行き約100mm、高さ約400mmとコンパクト設計。
  • 形状輪郭、3D表面形状の測定可能。
  • 波長スキャニングにより、位相差を創生。
  • 短時間でデータ取得が可能。
  • 加工装置に取り付けての機上測定可能。
  • 対物レンズは2x、5x、10x、20x、50x

世界最高峰の次世代超精密3次元測定機!
測定不確かさは、2Dで45nm/100mm(XZ)~、3Dで68nm/150mm(XYZ)~

ISARA400

次世代型超精密3次元測定機
400mmx400mmx100mmまで対応

<特徴>

  • 形状測定機(プロファイラー)では測定できない測定面角度(スロープ)角度±90まで可能。
  • 測定レンジが400mm(X軸)×400mm(Y軸)×100mm(Z軸)と大口径光学部品、超精密部品の測定に最適。
  • ナノメータの分解能で複雑な形状や自由曲面光学部品も3次元測定、スキャニング測定が可能。
  • 光学基準面を機械的基準面として採用。

ISARA100

次世代型超精密3次元測定機
100mmx100mmx50mmまで対応

<特徴>

  • 形状測定機(プロファイラー)では測定できない測定面角度(スロープ)角度±90まで可能。
  • 測定レンジが105mm(X軸)×105mm(Y軸)×50mm(Z軸)までの光学部品及び小型超精密部品の測定に最適。
  • ナノメータの分解能で複雑な形状や自由曲面光学部品も3次元測定が可能。
  • 光学基準面を機械的基準面として採用。

ISARA用超精密プローブ

Triskelion タッチプローブ
直径0.2mm、0.5mm、1.0mmの3種類のプローブチップが使用可能。

<測定用プローブコンセプト>

  • 3点式バネの変形を高精度静電容量センサーにより、変位として検出。
  • X方向、Y方向およびZ方向の変位を、1次元、2次元、および3次元の合成変位として検出が可能。

<立体形状の測定>

  • 従来の3次元測定機と同様に、被測定物を接触式プローブで点として測定が可能。
  • 点、線、面により被測定物の座標系を設定可能。
  • 被測定物のアライメント後、自由曲面の点群測定が自動測定可能。
  • アナログ測定プローブのために、プローブの接触圧力を一定に保持しながら自動スキャニングが可能。
  • 未知の測定物形状を、プローブの接触圧力を一定に保ちながら測定可能。
 

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