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NTG イオンビーム形状修正機

サブナノメートルで形状修正を達成するイオンビーム形状修正装置

IBF-5

直径5mm以下ワークサイズを形状修正できる最小イオンビーム形状修正装置

<特徴>

  • 使用するイオンビームサイズ半値幅で 50 µmから0.4 mmで 高精密3軸駆動システムと組合せで、最少平面及び曲率面 形状をナノメートル精度で修正可能であり、高い空間周波数表面 修正が可能となります。

IBF-100

ワーク修正加工範囲直径5~70mmまで対応!

<特徴>

  • モデル IBF-100シリーズは、小径光学部品のナノメータ形状修正システムです。
  • 小径光学部品を最短の時間で、PV値λ/5からλ/20、またはそれ以上に仕上げることが可能です。
  • 70°までの傾斜角の加工が可能です。

IBF-200

ワーク修正加工範囲直径5~200mmまで対応!

<特徴>

  • モデル IBF-200シリーズは、小径から中程度の光学部品のナノメータ形状修正システムです。
  • 70°までの傾斜角の加工が可能です。
 

上記製品以外のラインナップ ※詳細はお問い合わせください。

IBF

IBF

IBF

加工事例

加工事例

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