工業用および研究プロジェクト用 高性能 IBSコーティングシステム
モデル
特徴
◆ 2つのゾーンターゲットの純正ブレンドによる屈折率の調整が可能
◆ 革新的なデザインのために、1回のコーティングで最大6種類のコーティング材を使用可能
◆ ルゲートフィルターとグラディエントインデックスプロファイル機能
◆ 高精度厚み制御のための広帯域光学モニタリングシステム内蔵
◆ ロードロックによるスループットと清浄度の向上（Navigator 1000 LL, Navigator 1100LL）
広帯域モニタリングシステム
・回転基板のスペクトル
・標準範囲 ：380 - 1050nm
・DUVオプション：230nmまでのスペクトル拡張
・IRオプション：2200nmまでのスペクトル拡張
・標準精度：数nm
CEC社について
CEC社（Cutting Edge Coatings）はドイツ ハノーバー市に本拠地を置き、2007年にハノーバーのレーザー・センターからスピンオフして設立。
創設者兼ゼネラル・マネージャーであるカイ・シュタルケ博士を中心として、約25人の従業員とともに、世界中の顧客向けに高品質のイオンビーム・スパッタリングシステムとイオンソースを製造している。
カッティング・エッジ・コーティング社との日本市場における販売代理店契約を締結（503KB）
主な仕様
応用事例
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